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热式流量计

它是在上世纪80年代初半导体制造业需求的推动下得到发展，现仍是其主要使用产业。热式流量计是当前气体小流量测量的主导品种，小满度流量为5mL/min（标准状态），测量精que度±（1-2）%FS。

若使用场所不容许加热升温，则可采用帕耳帖效应（Peltier Effect当有电流通过不同的导体组成的回路时,除产生不可逆的焦耳热外,在不同导体的接头处随着电流方向的不同会分别出现吸热、放热现象。这是J.C.A.珀耳帖在1834年发现的。

电磁流量计

它的优点是测量通道是无阻扰的直管，无潴留部位。管道小流量测量体现于管径小和流速低两个层次，就流程工业而言，习惯上DN10甚至DN15以下管径流量测量称之小流量测量，通常其流量值液体为1L/min或0。与液体接触的仅是氟塑料内壁测量管和白金等电极，具有良好耐腐蚀性适宜于测各种药液，但不能测低电导率≤-10E6S/cm的纯水、酒精等。若仅从小流量这一视点作比较，电磁流量计不是强项，因为口径小比常用口径仪表小的多，流速不能用得过低，因此小流量相对较大。