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浮子流量计

它利用浮子在垂直锥形管内随着流量大小上下浮动改变流通面积，以浮子高度测定测量。若锥形度小，浮子密度和被测液体密度接近，满度流量可小至10Ml/min；2mm直径球形浮子仪表小可至0.16Ml/min。

日本曾发表可发信的小流量浮子流量计，称做（Semiflow）流量计，如图所示，浮子延伸下端为***磁铁7，由磁敏元件10检出其位置。从层流区转向紊流区K变化甚大，小管径小流量仪表常落在层流转向紊流区的过度区内。位置与输出信号关系如图所示。接触液体部件均由氟塑料制成。小规格的满度流量为30mL/min，范围度5:1，测量精度为±6%FS。

热式流量计

它是在上世纪80年代初半导体制造业需求的推动下得到发展，现仍是其主要使用产业。热式流量计是当前气体小流量测量的主导品种，小满度流量为5mL/min（标准状态），测量精que度±（1-2）%FS。