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热式流量计

它是在上世纪80年代初半导体制造业需求的推动下得到发展，现仍是其主要使用产业。热式流量计是当前气体小流量测量的主导品种，小满度流量为5mL/min（标准状态），测量精que度±（1-2）%FS。

若使用场所不容许加热升温，则可采用帕耳帖效应（Peltier Effect当有电流通过不同的导体组成的回路时,除产生不可逆的焦耳热外,在不同导体的接头处随着电流方向的不同会分别出现吸热、放热现象。这是J.C.A.珀耳帖在1834年发现的。

从层流区转向紊流区K变化甚大，小管径小流量仪表常落在层流转向紊流区的过度区内。小流量超声流量计需另辟途径，趋避这两不利因素。超声流量计测量液体若含有气泡会使输出大幅跳动，但近年带微处理器的仪表做数***算后，可防止输出突然偏移这一缺点。

⑤防护等级要求高。气泡和尘埃附着的影响因管径小黏性增加，液体中微细气泡易在管系流动过程中积聚变大，使测量时指示不稳，精que度下降。大口径管路大多埋地敷设，为的是节省空间，在北方，也是防冻的需要。因此流量传感器大多被安装在仪表井内的管段上。由于雨水、井壁渗漏和管路外漏等原因常常引起井内水位上升而淹没流量传感器，所以设计时就应估计到这种情况，选用防持续浸水影响的流量传感器。